Cette technique est particulièrement intéressante pour le micro-échantillonnage en surface et en profondeur d’un échantillon solide, l'analyse des matériaux non conducteurs, pour l'analyse d'inclusions ou pour vérifier l'homogénéité d'un matériau. Elle évite aussi les problèmes de minéralisation d’échantillon et la caractérisation de sous-couches métalliques en micro-électronique, traitement de surface, etc.

Le système Solis-500 permet de réaliser à un micro-échantillonnage de surface et en profondeur pour les matériaux sidérurgiques et échantillons homogènes. Avec sa fréquence de 1064nm et son sa construction robuste, il est un complément précieux pour un système ICP optique, par exemple pour l’analyse de pièces ou de lingots de chrome massif, d’Aluminium, de métaux précieux, etc, que les échantillons soit non aliquotables ou non minéralisables
L’Ablation Laser LSX-500 utilise un laser Nd:YaG à 266nm avec une densité énergétique exceptionnelle permettant d’ablater une très large gamme de matériaux. Son système optique permet de réaliser des spots d’ablation entre 10 µm et 500 µm. Par conséquent, il peut convenir à la fois pour des couplages ICP que pour des couplages ICP-MS
Le système LSX-213 permet d’ablater à 213 nm et par conséquent est adapté à l’ablation de matériaux transparents, tels que le Quartz, la calcite, les zircons et pierres précieuses, avec un fractionnement isotopique extrêmement réduit. Son système d’illumination unique aisni que son système de visualisation par caméra CCD haute résolution permet d’obtenir un confort d’analyse et d’observation inégalé
Le système GeoLasPro est fabriqué par la société Coherent et est commercialisé par CETAC Technologies. Le laser excimère à gaz du GeoLasPro permet d’ablater à 193 nm dans tous les matériaux sans fractionnement isotopique. Une taille de spot d’ablation de 4 µm, ainsi que des masques d’ablation à la carte permettent d’étudier les plus petits détails des échantillons (inclusions fluides, nano-défauts, etc)